SSX600系列步进扫描投影光刻机被动式空气弹簧塑胶试片工艺性能实验(1)拉伸实验被动式空气弹簧的抗拉强度的时效性转变那样,步进扫描投影光刻机被动式空气弹簧气囊的抗拉强度伴随着使用寿命问的问题的增加大概表明下降的态势,应用16年之后也发现了，一些试样的抗拉强度下降了50百分比上下。那样,抗拉强度降低50百分比之上则可判定为显著的下降。在气襄工艺性能层面，针对超出本实验阶段的应用，需要进行深思熟虑。
详细的剖析每个老化趋向时，确定了下列老化特点先,在中间，①面、②面竖直及水平方向强度都有下降,①面下降水平略大些。步进扫描投影光刻机被动式空气弹簧主要原因能够称之为横着晃动产生的影响，与此同时也可以称之为紫外线的危害。从而结论获知，气囊中间是很容易变形消化吸收振动的主要一部分。
次之,有关上端,其水不角度的抗拉强度使用4年时，虽然也有一-定初期老化,但应用13年~16年之后，①面、②面抗拉强度下降量均比较小。与其相匹配，有关.上端的竖直方向,其①面、②面抗拉强度的下降量与中间一样,变型比较大。从而结论获知，上端在机器运行中,①面、②面二者都为竖直方向的振动影响较大,而水平方向的振动危害则比较小。有关下边,①面抗拉强度的下降,在竖直和水平方向均比较大，而②面无论哪个地方均比较小。那可确定主要是因为下边横着晃动所导致的疲惫要素大因此，步进扫描投影光刻机被动式空气弹簧气囊下边常采取将零配件快速地固定于牵引电机上。由此能够确定,气囊下边随着牵引电机与机器的相对性振动偏移承受了激烈的运动。牵引电机与机器设备间的比较大振动通常是机器的竖向及横着(横着晃动)健身运动，机器的竖向受设备和牵引电机框架的弯曲刚度所管束，其健身运动获得限定。另一方面，被动式空气弹簧因为运行时曲线图里的晃动等因素,机器设备方位运动非常容易扩大所以可以确定，下边②面振动负载小又下边①面振动负载则比较大。
