空气弹簧生产工艺介绍

空气弹簧生产工艺介绍

小型化是MEMS商品的一个突显特性。伴随着微系统技术性的发展趋势，一些MEMS元器件的规格早已进到亚微米级。这种小型元器件早已超过了传统式的生产加工技术性可以进行。因而，对于这种元器件开发设计了一系列生产加工技术性，即MEMS技术性或微系统生产加工技术性。

现阶段业内应用的MEMS微生产加工技术性包含：体硅微生产加工（Bulk）、表层微生产加工（）、LIGA加工工艺（光刻技术、电铸和成形）。三种加工工艺方式中的每一种都是有其优势和局限。

1、体硅微生产加工

体硅微机械加工制造是根据对衬底开展各种各样或各向异性离子注入，在硅衬底上生产制造各种各样机械系统元器件的技术性。其优点是机器设备简易，项目投资少，但只有生产制造样子简易、纵横比小的元器件。它是根据蚀刻加工光伏材料得到的，耗费很多的光伏材料（有时候称之为减成加工工艺），而且只有应用光伏材料做为生产加工目标。

2、表层微生产加工技术性

表层微生产加工关键依赖在基材上逐级加上原材料空气弹簧生产工艺流程《MEMS解读》MEMS微生产制造加工工艺详细介绍，运用表层生长发育法和光刻法在表层生产制造各种各样微机械系统元器件。在基材的顶表面堆积和蚀刻加工金属材料、结晶硅、氮化合物、金属氧化物、有机材料等。常见的堆积技术性有挥发、磁控溅射、丝印油墨、CVD（有机化学液相堆积）、电镀工艺等，也是有干蚀刻加工和湿蚀刻加工技术性。其优点是根据在光伏材料中添加各种各样原材料，产生需要的构造，可以生产制造出更繁杂的零件，但技术性更繁杂，机器设备也更价格昂贵。

3、LIGA微生产加工技术性

LIGA生产加工是法语光刻技术、电镀工艺（也称电铸）和压铸模具的简称。LIGA技术性可以生产加工金属材料、塑胶等非光伏材料，可以生产加工大纵横比的零件空气弹簧生产工艺流程，这针对容积微生产加工和表层微生产加工而言是艰难的。但该加工工艺必须以同步辐射设备造成的较高能放射线为关键解决方式，机器设备价格昂贵，项目投资大。

先在金属材料基材铺上一层PMMA（聚乙酸乙烯酯，有机玻璃板），随后在上面放一个模版，运用同歩网络加速器设备造成的较高能放射线对PMMA开展蚀刻加工，最终产生必须的间隙随后根据电气设备方式添充内腔，随后除去PMMA以获取需要的合金传动齿轮。