使用M/31102橡胶气囊的常识
M/31102橡胶气囊一般由奥氏体材料或根据客户要求制造。尺寸选择合理,应力合适,活塞杆行程尺寸8mm的余量。选用球形橡胶气囊和铰链式波纹管,应加装导向支架,避免波纹管失去稳定性。选用其他方式,补偿管道太长时,还应提供导向支撑。补偿管道较长时要采用减小磨擦。
橡胶气囊的密封结构设计大多选用结构,两边,端面为光滑突面,两两边用螺钉连接到能够密封严密。隔离外部环境对印压光刻机的影响,能够保护压印机不受低频激振力的激起。确定了低频单度减振系统的减振原理,确定了刚度及减振系统的共振频率,并与实际减振系统的实验结果相符合,说明印压光刻机低频减振设计合理可行。
M/31102橡胶气囊能够同时承受多向载荷,进而简化系统结构,具有很强的内阻。对于吸收忽然冲击、高频振动和隔音有很好的效果,形状不限,各方向刚度可根据设计要求随意选择,尽管弹性模量小的边沿尺寸和曲囊直径,但可以得到较大的弹性变形,容易达到理想的非线性特点。