在半导体制造领域，投影光刻机作为核心工艺设备，其工作环境对振动控制的要求极为苛刻。SSB260/20T型投影光刻机凭借高精度和高速运算能力在光刻过程中实现微米级图案转移，而微小的机械振动都可能导致图案偏移和工艺缺陷。因此，采用高性能的减震系统成为确保设备稳定运行的关键技术。SDS橡胶波纹减震器正是在这种需求背景下诞生，其通过独特的波纹橡胶结构设计，有效吸收和隔离振动能量，保障光刻过程中的精密控制。
SDS橡胶波纹减震器主要由内胶层、加强布层和外胶层构成，外观呈现出均匀的波纹结构。这种设计不仅赋予了减震器优异的柔性和弹性，同时大大提高了其承载能力和耐疲劳性能。工作时，当设备受到机械振动或冲击时，波纹结构可以迅速变形，通过橡胶的内聚能量将振动能量转化为热能，从而有效降低振动幅度，防止其传递至光刻机的核心光学系统。
在SSB260/20T型投影光刻机中，SDS橡胶波纹减震器发挥着至关重要的作用。首先，减震器能够在低频和高频振动范围内均实现有效隔离，确保设备在启动、运转及停止过程中始终保持稳定状态。其次，波纹结构设计使得减震器具有较大的相对位移补偿能力，可以适应设备在运行过程中因热膨胀或安装误差引起的微小变形，从而维持光刻机各部件之间的精确对位。与此同时，其出色的抗老化性能和耐高温特性，保证了设备在长时间连续运转下依然能够维持稳定的减震效果，延长了设备的使用寿命。
